德國(guó)PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺(tái)

：PI (Physik Instrumente)
公司簡(jiǎn)介：
   德國(guó)PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器，用于線(xiàn)性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶(hù)特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造
醫(yī)學(xué)工程
生物技術(shù)
工廠(chǎng)工程
表面計(jì)量
天文學(xué)

德國(guó)PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺(tái)

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺(tái)

§ 行程為50至1800微米

§ 分辨率達(dá)0.1納米

§ 定位精度 0.02 %

§ 帶電容式傳感器的直接計(jì)量

§ X、XY、Z和XYZ型

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)chong擊和振動(dòng)不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測(cè)量帶來(lái)大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，*不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

德國(guó)PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺(tái)