PI P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

用于掃描探針顯微鏡的高動態(tài)納米定位系統(tǒng)

P-363

PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實現(xiàn)gao精度

§ 并聯(lián)測量技術可實現(xiàn)導向誤差的自動化 補償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應用領域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

規(guī)格

                      P-363.3CD         P-363.2CD        單位

主動軸                  X、Y、Z            X, Y

運動和定位

集成傳感器               電容式          電容式

-250至+250伏時X、Y向上的開環(huán)行程  ±3    ±3             微米

 -250至+250伏時Z向上的開環(huán)行程    ±2.7    -             微米

X、Y向上的閉環(huán)行程                  ±2.5   ±2.5          微米

Z向上的閉環(huán)行程      ±2.5    -      微米

分辨率，開環(huán)*      0.03  0.03納米

分辨率，閉環(huán)      0.1  0.1 納米

線性誤差      0.05   0.05 %

重復精度 1 1 納米

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角 0.5   0.5微弧度

Z向運動時的傾斜0.2-微弧度

X、Y向上的直線度3 3納米

PI P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀